【真空等离子设备】等离子体发生器的分类： 1 高频感应等离子体发生器 又称高频等离子体炬，或称射频等离子体炬。它利用无电极的感应耦合，把高频电源的能量输入到连续的气流中进行高频放电。 2 电弧等离子体发生器 又称电弧等离子体炬，或称等离子体喷枪，有时也称电弧加热器。它是一种能够产生定向“低温”（约 2000～20000开）等离子体射流的放电装置。【等离子处理机】 3 低气压等离子体发生器 一种低气压气体放电装置，一般由三部分组成：产生等离子体的电源、放电室、抽真空系统和工作气（或反应气）供给系统。 通常有四类：静态放电装置、高压电晕放电装置、高频（射频）放电装置和微波放电装置。【卷对卷等离子处理设备】
