1、超低处理温度：

真空腔体由铝合金材质制造，经过真空度捡漏测试，处理温度低于45℃，保压性能优异，可满足不同场合温度要求，不对清洗产品造成温度影响。

2、多路气体控制：

高精度气体流量监测系统，针对不同的产品，通入不同反应气体，双路或者多路工艺气体，使用清洗各种复杂形状的产品，全方位均匀清洗。

3、高效率处理：

单次可处理多片/批次材料，更可根据材料、产能进行定制。