CRF等离子体表面处理仪工作特点以及等离子体鞘层现象震荡特点讲解:
CRF等离子体表面处理仪广泛应用于电子设备、通讯、汽车、纺织、生物医药等领域。如电子器件,液晶/OLED屏的涂覆处理,PC塑料框的涂覆处理,机壳和键钮等结件表面的油印处理,印刷电路板表面除胶除污清洗,电镜胶水粘贴,电线电缆喷涂处理,对汽车行业灯罩、刹车片、门封胶条进行涂覆处理,机械行业金属件进行无微不至的清洁处理,镜面镀膜前处理,各种工业材料的接合与密封处理,立体物体表面的修饰处理等。
诚峰等离子体表面处理仪包括一个反应腔,电源和一套真空泵。将样品放入反应腔内,真空泵开始抽气至一定真空度,电源启动便产生等离子体,气体通过反应腔内的等离子体进入反应腔内,与样品表面发生反应,产生挥发性副产物,并由真空泵抽出。
一、等离子体表面处理仪等离子在宏观上是电荷平衡
通常情况下,等离子呈现电荷平衡,但在受某种干扰时,电浆内部会出现局部电荷分离,产生电场。例如,将带正电荷的小球置于等离子体中,它会吸引等离子体中的电子器件并排斥这些离子,从而在小球周围形成一个带负电的球形“电子云”。
二、诚峰等离子体表面处理仪有着震荡特点
通常等离子体处于平衡状态时,其密度分布在宏观上是均匀的,但在微观上则是有升有降,且不均匀,且密度波动有着震荡性。
三、诚峰等离子体表面处理仪等离子体有鞘层现象
由于等离子体初处于准电荷平衡状况,假如在等离子体中挂1块不导电的绝缘衬底,则该衬底中的离子和电子器件都会朝着该衬底移动,单位时间内到达该衬底的电子器件数量远远大于离子数量。达到基底的电子器件部分与离子复合,其余部分是离子,因此,基底表面会产生负电荷积累,从而形成基底表面负电势。这个负电势会排斥后续的电子器件,同时吸引正离子。当基片的负电势达到一定的程度,离子流就会变成电子流。因为基底是负电势,所以在基底和等离子体的交界处形成了由正离子构成的空间电荷层,也就是离子鞘层。`