微波等离子清洗机是一种利用微波能量激发气体产生等离子体,进而对材料表面进行高效、精密处理的设备。与传统的射频(RF)等离子技术相比,微波等离子技术能够在更低的压力下工作,并且通常提供更均匀的等离子分布,这对于需要高精度表面处理的应用尤为重要。
主要特点
高效的能量转换:微波等离子清洗机通过微波能量直接加热气体分子,从而产生等离子体,这种机制可以实现更高的能量效率和更好的控制。
低温处理:由于其独特的能量传输方式,微波等离子可以在相对较低的温度下操作,这使得它非常适合处理对热敏感的材料,如塑料、聚合物以及生物医学器件等。
均匀性佳:微波等离子技术能够提供更加均匀的等离子体分布,有助于确保整个处理区域内的表面改性效果一致。
多功能应用:支持多种工艺气体(如氧气、氩气、氢气等),可用于清洗、活化、蚀刻及涂层等多种表面处理过程。
环保友好:微波等离子清洗过程中使用的化学物质较少,减少了有害废料的产生,是一种较为环保的表面处理方法。
应用领域
微波等离子清洗机广泛应用于多个高科技领域,包括但不限于:
- 电子制造:用于PCB板清洁、芯片封装前的表面预处理等。
- 半导体加工:在晶圆制造中进行表面活化、去除光阻层等。
- 医疗设备制造:对医疗器械进行表面改性以提高生物相容性或消毒处理。
- 航空航天:对复合材料进行表面处理,增强粘接性能。
- 汽车工业:改善塑料件或其他组件的表面特性,提高涂装质量。
通过使用微波等离子清洗机,用户可以实现高质量的表面处理,不仅提升了产品的性能和耐用性,还为新材料的应用提供了更多可能性。其灵活性和精确度使其成为科研开发和工业生产中的理想选择。
荣誉资质
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高新技术企业证书
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Certificate of Compl
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Verification of Conf
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Certificate of Compl
名称 | 微波等离子清洗机 |
设备供电 | 三相380V/AC,50/60Hz,7.2KW |
等离子微波源 | 2.45GHz,0-1250W |
负载冷却方式 | 循环水冷 |
真空泵 | 双级旋叶泵+罗茨泵 |
设备控制方式 | PLC+PC |
真空探测 | 皮拉尼式真空规 |
工艺气体 | 2路气体可选(CF4,SF6,O2,Cl2,BCI2等) |
气体流量 | MFC/0-500sccm,两路气体可选 |
腔体容积 | 110L |
处理效率 | 同时可放置8个支架类料盒 |
触摸屏 | 13.3寸一体机 |
外形尺寸 | 1400mm*770mm*1660mm |